MEMSとは

MEMSとは「Micro Electro Mechanical Systems」の略で、日本語に直訳すると「微小電気機械システム」といいます。

半導体集積回路の製作技術を発展させた微細加工（マイクロマシニング）により、数十μm単位の歯車などの「動く部品」や立体物をシリコンやガラスといった薄い基板（ウエハ）の上に制作します。電気回路だけでなく小さな柱や膜といった微細構造体を持ち、アクチュエーターやセンサーなどの電子・機械部品要素を1つのチップにまとめたシステムです。

MEMSはウエハ上に多くの製品を一度に作ることができるため、電子・機械部品を個別に作って組み合わせる方法と比べ、量産性に優れています。小型・軽量化が可能であり、パーツの消費電力を削減する効果も期待できます。

なお、MEMSを使用した身近な機器にはスマートフォンが挙げられます。加速度センサー、ジャイロセンサー、マイクなど、複数のMEMS製品が搭載され、デジタルデバイスの小型化や高性能化、高機能化に大きく寄与しています。

本サイトではIoTによるスマート化やDXを促進し、小型・高機能化を支えるキーパーツであるMEMSについて、詳しく紐解いていきます。