MEMSミラー

MEMSミラーはシリコン上にMEMS技術で動くミラーを形成し、ミラー面に入射したレーザー光を反射させ走査するための、レーザースキャニングをする製品のことです。

ここではMEMSミラーの駆動方式や、MEMSミラーの特徴や活用事例について紹介します。

MEMSミラーとは

MEMSミラーとは、MEMS技術を活用して形成された「動くミラー」で、圧電・電磁・静電などの駆動方式があります。部品数が少ないため壊れにくく、また小型で量産性に優れているため、さまざまなモバイル機器やプロジェクターなどで使用されています。

シリコンウエハに圧電体膜をつくり、電圧をかけることで生じる反りの動作を、ヒンジを通じてミラーに伝達させて動かします。サイズが小さく高出力を維持できる特徴があります。

磁界中のミラーの周りにあるコイルに電流を流して駆動させます。低電圧で駆動させることができ、扱いやすいという特徴があります。

ミラーの両端に取り付けてあるアクチュエーターがミラーを動かす構造となっています。消費電力が少ないため省電力での駆動が可能です。

MEMSミラーは古くからスキャナーや、プロジェクターなどで使用されており、最近はLiDAR（Light Detection And Ranging）や、HUD（Head-Up Display）、HMD（Head Mounted Display）などでの活用が進んでいます。

中でもLiDARは、自動車の完全自動運転を実現するのに必要不可欠な技術と言われており、年々需要が高まってきています。
LiDARは光により検知と測距を行う技術で、近赤外光・可視光・紫外線を使って対象物に光を当て、その反射光を光センサーで検知して距離を測るというものです。

このLiDARの技術を支えるパーツとして、MEMSミラーは重要な役割を果たしています。