圧電方式
シリコンウエハに圧電体膜をつくり、電圧をかけることで生じる反りの動作を、ヒンジを通じてミラーに伝達させて動かします。サイズが小さく高出力を維持できる特徴があります。
MEMSミラー
MEMSミラーはシリコン上にMEMS技術で動くミラーを形成し、ミラー面に入射したレーザー光を反射させ走査するための、レーザースキャニングをする製品のことです。
ここではMEMSミラーの駆動方式や、ミネベアミツミのMEMSミラーの特徴や採用事例について紹介します。
MEMSミラーとは
MEMSミラーとは、MEMS技術を活用して形成された「動くミラー」で、圧電・電磁・静電などの駆動方式があります。部品数が少ないため壊れにくく、また小型で量産性に優れているため、さまざまなモバイル機器やプロジェクターなどで使用されています。
電磁方式
磁界中のミラーの周りにあるコイルに電流を流して駆動させます。低電圧で駆動させることができ、扱いやすいという特徴があります。
静電方式
ミラーの両端に取り付けてあるアクチュエーターがミラーを動かす構造となっています。消費電力が少ないため省電力での駆動が可能です。
MEMSミラーの活用事例
MEMSミラーは古くからスキャナーや、プロジェクターなどで使用されており、最近はLiDAR（Light Detection And Ranging）や、HUD（Head-Up Display）、HMD（Head Mounted Display）などでの活用が進んでいます。
中でもLiDARは、自動車の完全自動運転を実現するのに必要不可欠な技術と言われており、年々需要が高まってきています。
LiDARは光により検知と測距を行う技術で、近赤外光・可視光・紫外線を使って対象物に光を当て、その反射光を光センサーで検知して距離を測るというものです。
このLiDARの技術を支えるパーツとして、MEMSミラーは重要な役割を果たしています。
ミネベアミツミのMEMSミラー
ミネベアミツミのMEMSミラーは駆動方式に圧電方式（PZT）を用いています。なお、ミネベアミツミではMEMSミラー単品だけでなく、MEMSミラーを駆動するDriver ICやDriver制御基板（FPGA）も併せて提案しています。
特徴
ミネベアミツミのMEMSミラーは、光源としてレーザーを使用しているためフォーカスフリーで簡単にピントが合う特徴があります。また高輝度・高コントラストのため、はっきりとした映像を見ることができ、その映像は大画面でも、ARやMRなどのヘッドアップディスプレイに使用される超小型画面でも使用可能です。また、耐熱性にも優れるため、熱を持ちやすい環境でも安定して使うことができます。
製品紹介
ミネベアミツミのMEMSミラーは駆動方式に圧電方式を採用しており、小さなサイズでありながらも高出力を得られます。また、MEMSミラーを用いた測距方式はダイレクトTOF（Time of Flight）で、高精度測距が可能です。メカレス構造となっているため壊れにくく、長寿命な点も特徴です。
採用事例
ミネベアミツミのMEMSミラーは、自動車に搭載するLiDARやウェアラブル製品のHMD、HUDなどで活用されています。MEMSミラーを導入するにあたり、ミネベアミツミでは高電圧の電源IC、制御基板といった周辺機器もご用意し、製造予定の部品・製品にあった提案やカスタマイズをトータルで提案しています。
